等离子刻蚀设备
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高选择比刻蚀机
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12英寸立式氮化硅低压化学气相沉积炉
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12英寸立式氮化硅低压化学气相沉积炉
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FLOURIS 201系列
8/6英寸立式炉
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12英寸立式等离子体加强氮化硅原子层沉积炉
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DEMAX SN302PS
12英寸立式等离子体加强氮化硅原子层沉积炉
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TENESIS X308H
12英寸立式高温氧化炉
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THEORIS TE302
12英寸立式氧化硅低压化学气相沉积炉
