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Accura LX系列

12英寸介质刻蚀机

Accura LX系列 12英寸介质刻蚀机

Accura LX Series 12 Inch Dielectric Etcher

重要为12英寸逻辑领域G0及以上节点（含G0）BEOL AIO工艺提供解决规划。设备建设双频脉冲射频+Top DC，有效节造等离子体能量及密度，提高TiN选择比；C/M/E三区进气可调；ESC 4zone精准控温；高温腔体降低TiF副产品并削减polymer沉积，可实现精准的孔槽描摹节造。

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