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WE3102系列

12英寸槽式洗濯设备

WE3102系列 12英寸槽式洗濯设备

WE3102 Series 12 Inch Wet Bench Clean Tool

重要用于集成电路、新兴利用等领域12英寸洗濯工艺。选取？榛⒊叨然杓，满足客户多种工艺利用需要；集成多职能药液槽，刻蚀速度节造精准；利用先进的低压干燥技术，实现优良的干燥成效。

设备特点

产品利用

晶圆尺寸
12英寸
合用资料
光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物
合用工艺
炉前洗濯、刻蚀 / 抛光后洗濯、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收
合用领域
集成电路、新兴利用

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