Hesper E630R系列 12英寸减压选择性表延系统
Hesper E630R Series 12 Inch Reduced Pressure Selective Epitaxy System
Hesper E630R 系列产品重要用于12英寸减压选择性表延工艺的科研与出产，可覆盖锗硅、磷硅、纯硅、纯锗多种工艺类型，机台通过表延工艺？椋≒M）、前处置？椋ˋSSC）和传输？椋═M）的集成化结构设计，搭配智能化的软件操作系统，实现单片表延工艺的全自动化，其中，表延工艺？橥ü嗲毂砑尤取⒏呔任驴叵低场⑿滦推鞒∩杓，实现了成长低缺点密度、高厚度均匀性和电阻率均匀性的表延工艺要求，满足逻辑、存储、硅光等领域客户需要，并已实现多家客户不变量产。
