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立式/卧式管舟洗濯设备
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公司名称：
Bpure系列 立式/卧式管舟洗濯设备
Bpure Series Vertical/Horizontal Tube/Boat Clean Tool
重要用于集成电路、科延注化合物半导体等领域12英寸及以下尺寸的扩散、表延等设备的石英管/舟、碳化硅管的洗濯。此表，也能够用于洗濯其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。
设备特点
全自动洗濯，浸泡式洗濯与喷淋式洗濯工艺可选
一机多用，可兼容石英管/ 舟/ 工件洗濯
自主研发节造系统，敦睦的人机交互界面
自动配液系统，换酸便捷
分级安全互锁设置，确保设备安全靠得住
产品利用
晶圆尺寸
8、12英寸
合用资料
石英、碳化硅
合用工艺
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式洗濯
合用领域
集成电路、科延注化合物半导体
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