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Satur系列

多片式MOCVD系统

Satur系列多片式MOCVD系统

Satur Series Batch MOCVD System

Satur系列 MOCVD气相表延设备，选取金属有机化合物源输运规划，合用于氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体表延出产。设备全系自主研发，优化流场与温场设计，均匀性节造能力凸起。经客户端量产工艺实考试证，整机机能与表延工艺水平达到国内当先，国际先进水平，助力化合物半导体产线自主化落地。

设备特点

产品利用

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