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精密元器件 Precision Components

皮拉尼式压力传感器

皮拉尼式压力传感器

Pirani Pressure Sensor

皮拉尼式压力传感器，皮拉尼道理，中低真空丈量，低成本，合用于粗真空、低真空。

产品特点

技术指标

利用领域
工业节造、半导体设备
丈量领域
0.005～1.5×10?Pa
丈量精度
0.05～0.1Pa ±50% R.D.；0.1～100Pa ±15% R.D.；100～1200Pa ±10% R.D.；1200～1.5×10?Pa ±2.5% R.D.
通讯方式
仿照、RS485、DeviceNet、EtherCat

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