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氢气烧结炉
真空新能源设备 Vacuum Tech
VERAL GS555H1
氢气烧结炉
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公司名称：
VERAL GS555H1 氢气烧结炉
VERAL GS555H1 Hydrogen Sintering Furnace
氢气烧结炉选取怪异热区结构设计腔体密封系统 ， 并含先进的气体输送系统和抽真空系统 ， 可全面覆盖氧化铝HTCC工艺需要。
设备特点
多分区的控温架构与流场结合设计 ， 通过对热场的精准节造和流场的散布导向 ， 有效的保障了温度均匀性和气流均匀性 ， 进而保障产品的高致密化烧结
可通过电信号或手动节造多种工艺气按比例混合后分多路进入设备 ， 凭据工艺设定自动实现干湿气切换 ， 各器件衔接处选取双卡套接头或橡胶密封 ， 有效的保障设备安全
拥有全流程自动化节造系统 ， 凭据实时情况纪录 ， 保险流程精准无误
技术指标
工作温度1700度 ，冷态极限真空200Pa ，温度均匀性±5℃ ，压升率0.67Pa/h
合用工艺
氧化铝ESC高温共烧工艺
合用资料
氧化铝
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