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HORIS TA12
管式ALD设备
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公司名称：
HORIS TA12 管式ALD设备
HORIS TA12 ALD System
合用于光伏电池出产，适配TOPCon、TBC工艺路线，利用在表表钝化、边缘钝化等工艺
设备特点
怪异的温场和气场设计，在单/双插、整片/半片等均可保障优良的镀膜均匀性
兼容多种类型蒸镀资料，覆盖主流钙钛矿资料造备工艺边缘钝化极致表观成效，绕镀<1mm
气体利用率高，特气耗气量降低 30%
守护周期长且便于守护
技术指标
表表钝化均匀性
≤3%
边缘钝化绕镀≤1mm
≤3%
合用工艺
表表钝化、边缘钝化
合用资料
光伏晶硅电池片
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