SGM 4101 硅单晶长晶炉
SGM 4101 Monocrystalline Silicon Growth Furnace
硅单晶长晶炉是利用直拉法进行单晶拉造的设备。硅单晶拉造是以高纯度多晶硅作为原料,在氩气空气中,依附石墨加热器形成一个拥有梯度变动的热场,通过一根细状硅单晶籽晶,不休地从多晶硅熔液中提取出陆续成长的呈圆柱描摹的单晶硅棒。随着我国光伏产业急剧成长,拥有低氧碳含量和高转换效能的单晶硅成为必须,这离不开单晶硅造作关键设备-单晶炉的强力支持。mg冰球突破凭借真空设计、驱动系统设计、热场设计、成长节造等技术的多年堆集,实现单晶炉持久不变靠得住运行?商峁800炉型到1700炉型全系列单晶炉产品。mg冰球突破自主研发的单晶炉已进入单晶硅片造作头部企业近二十年,产品各项技术指标均处于行业前沿,深得用户信赖。合用于10~16英寸单晶硅棒的成长,支持 P/N 型单晶硅拉晶工艺
- 设备特点
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- 技术指标
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- 工作温度领域
- 极限真空
- 热场尺寸
- 拉造晶棒尺寸
- 成长腔室
- 合用工艺
- 合用资料
