ProMaxy PSC 垂直单片碳化硅表延系统
ProMaxy PSC Vertical Flow Single Wafer SiC Epitaxy System
ProMaxy PSC系列为垂直单片式碳化硅表延设备，兼容6/8英寸SiC晶圆，选取垂直气流 + 高速旋转单片架构，依附分区独立感应加热、高精度光纤红表测温系统，全域温场、流场均匀可控，整机工艺窗口宽泛、持久运行不变性强，表延片厚度、掺杂、组分一致性优异，缺点密度节造水平凸起 ；设备天然适配超厚膜长时成长，占有超长预防性守护（PM）周期，运维成本更低，提供两腔、四腔两种配置布局。
