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ELEDE 380系列

LED刻蚀机

ELEDE 380系列 LED刻蚀机

ELEDE 380 Series LED Etcher

ELEDE 380系列LED刻蚀机重要用于LED衬底/芯片干法刻蚀。该设备使用先进的等离子体产生装置，合用于Mini LED、Micro LED造程多种资料刻蚀，覆盖图形化衬底及蓝绿、红黄芯片刻蚀工艺。设备选取双腔全自动平台、多片式托盘设计、独奸细艺套件设计，同时实现高产能和更低的CoC，为LED干法刻蚀提供最优性价比的解决规划。

设备特点

产品利用

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