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公司名称：
eVictor系列 物理气相沉积系统
eVictor Series PVD System
eVictor CX30系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统重要由大气平台、真空传输平台、去气腔室、预洗濯腔室以及工艺腔室组成，工艺腔室能够实现Ta、TaN以及Cu等多种资料沉积，Cluster架构可能高效实现铜籽晶层与反对层沉积，具备较好的填充能力 。
设备特点
怪异的磁控溅射源和腔室结构设计有效提高靶材利用率
高离化率的磁控溅射源设计带来优异的台阶覆盖率阐发
独有的静电卡盘设计，优良的冷却机能
优化的工艺流程带来大产能阐发，低运营成本
产品利用
晶圆尺寸
12 英寸
合用资料
氮化钽、钽、铜
合用工艺
2.5D/3D TSV沉积，大马士革
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